双组成氧化硅精抛液，你了解多少？

引言

双组成氧化硅抛光液，是加工领域的一颗璀璨明星。在精密加工的过程中，它展现出了卓越的性能。它能够与碳化硅材料完美结合，以细腻的研磨效果，让表面变得如镜面般光滑。

1.测试效果：

双组成氧化硅抛光液的独特之处在于其对碳化硅材料的出色适应性，作为碳化硅最后一道抛光工艺的优势也是显而易见的。它能够有效地提高碳化硅的表面光洁度和平整度，使碳化硅表面更加光滑如镜。同时，它还能够减少表面缺陷，有效去除表面瑕疵，提高碳化硅的质量和性能。

我司开发的产品系列中就有双组成的氧化硅抛光液，我们挑选出了由A、B剂混合组成的SIC-120S（SIC-120S-A、SIC-120S-B）、SIC-120P（SIC-120P-A、SIC-120P-B）两款产品分别搭配上阻尼布抛光垫进行了实验。以下是我司双组成氧化硅抛光液产品图片与阻尼布抛光垫使用前显微镜图片。

 
    实验技术参数如下：

            试验后阻尼布抛光垫在显微镜下表面情况：

    从图中可以看出，我司产品对于抛光垫的腐蚀性很小。

2.实验数据：

    以下是我司根据不同比例对双组成氧化硅抛光液混合进行测试（液体循环使用）。SIC-120S（2A:1B、1A:1B）,SIC-120P（1A:1B、1A:2B）测试平均每小时的去除率数据：

    试验后碳化硅晶圆在显微镜暗场下表面情况（如下图）：

根据上图我们可以看出，使用显微镜观察表面情况均为看到划伤。

3.总结：

最终实验结果我们得知，使用不同比例混合的抛光液在实验中去除率存在不一样的效果。两款产品使用1A:1B的比例进行实验数据较稳定，且循环两轮实验时液体没有变化；SIC-120P在使用至第三轮时产品的去除率则开始下降缓慢，所以在使用本公司产品时循环使用两轮则效果最佳。双组成氧化硅抛光液，A剂主要起到物理抛光作用，从实验数据中我们可以看出，在B剂总重量固定的情况下，降低A剂含量，则会降低产品在加工时的去除率。

我们希望这些实验数据能够为您在使用抛光液时提供一些指导。如果您有更多疑问或需要进一步的建议，欢迎随时与我们联系。我们将竭诚为您提供专业的支持和解决方案。