戳 | 邀您了解3款SIC抛光液

发布日期:2024-05-17

我司有多种研磨抛光液产品,本文主要介绍3款SIC抛光液,可以对8寸SIC衬底片进行单片加工工艺。通过本篇介绍,希望对您了解SIC系列产品有所帮助。

 
SIC-80P

     SIC-80P水溶性抛光液适用于SIC材料的CMP抛光工艺段。

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产品说明

1.本产品适合多片抛光加工及单片加工这两种加工工艺;

2.含高锰酸钾碱性氧化硅抛光液;

3.建议配合树脂或者聚氨酯抛光垫配套使用;

4.如需要单片加工使用,建议添加对应助剂调整PH值,具体使用细节请咨询我司工程师。

SIC-AC80

SIC-AC80水溶性抛光液适用于SIC材料的抛光工艺段。 

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产品说明

1.本产品适合单片抛光机;

2.含高锰酸钾酸性氧化硅抛光液;

3.为保证加工后材料表面质量,建议不循环使用;

4.建议配合树脂或聚氨酯抛光垫,使用单片加工工艺,不循环使用。

SIC-AC600

SIC-AC600水溶性抛光液适用于SIC材料的CMP抛光工艺。

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产品说明

1.本产品适合单片抛光机;

2.含高锰酸钾酸性氧化铝抛光液;

3.为保证加工后表面质量,建议不循环使用;

4.建议配合树脂或聚氨酯抛光垫,使用单片加工工艺,不循环使用。

3种抛光液数据对比

型号SIC-80P
SIC-AC80SIC-AC60
PH值8.0-11.01.5-3.51.5-3.5
比重1.00-1.081.00-1.081.03-1.10
平均粒径40-100NM40-100NM200-400NM
外观200紫色紫色紫色
加工材料导电型SIC衬底片导电型SIC衬底片导电型SIC衬底片
硅面去除率0.8-1.2UM/H

>4UM in 15 minutes

>5UM in 15 minutes

加工后RA值小于0.15NM
0.08-0.13NM0.08-0.13NM

 

3种SIC抛光液在以下几点条件相同:

①储存条件:室内储存,选择阴凉处,温度请控制在0-40℃;

②保质期限:储存条件下保质期为6个月;

③注意事项:请在遮光条件下储存,否则会对产品保质期有所影响;

④包装规格:5Kg/桶,4桶/箱;20Kg/桶,800Kg/托。 

欢迎对抛光液产品有需求的业务伙伴关注联系我们,我司将会为您提供进一步的服务。