发布日期:2024-05-17
我司有多种研磨抛光液产品,本文主要介绍3款SIC抛光液,可以对8寸SIC衬底片进行单片加工工艺。通过本篇介绍,希望对您了解SIC系列产品有所帮助。
SIC-80P
SIC-80P水溶性抛光液适用于SIC材料的CMP抛光工艺段。
产品说明
1.本产品适合多片抛光加工及单片加工这两种加工工艺;
2.含高锰酸钾碱性氧化硅抛光液;
3.建议配合树脂或者聚氨酯抛光垫配套使用;
4.如需要单片加工使用,建议添加对应助剂调整PH值,具体使用细节请咨询我司工程师。
SIC-AC80
SIC-AC80水溶性抛光液适用于SIC材料的抛光工艺段。
产品说明
1.本产品适合单片抛光机;
2.含高锰酸钾酸性氧化硅抛光液;
3.为保证加工后材料表面质量,建议不循环使用;
4.建议配合树脂或聚氨酯抛光垫,使用单片加工工艺,不循环使用。
SIC-AC600
SIC-AC600水溶性抛光液适用于SIC材料的CMP抛光工艺。
产品说明
1.本产品适合单片抛光机;
2.含高锰酸钾酸性氧化铝抛光液;
3.为保证加工后表面质量,建议不循环使用;
4.建议配合树脂或聚氨酯抛光垫,使用单片加工工艺,不循环使用。
3种抛光液数据对比
型号 | SIC-80P | SIC-AC80 | SIC-AC60 |
PH值 | 8.0-11.0 | 1.5-3.5 | 1.5-3.5 |
比重 | 1.00-1.08 | 1.00-1.08 | 1.03-1.10 |
平均粒径 | 40-100NM | 40-100NM | 200-400NM |
外观200 | 紫色 | 紫色 | 紫色 |
加工材料 | 导电型SIC衬底片 | 导电型SIC衬底片 | 导电型SIC衬底片 |
硅面去除率 | 0.8-1.2UM/H | >4UM in 15 minutes | >5UM in 15 minutes |
加工后RA值 | 小于0.15NM | 0.08-0.13NM | 0.08-0.13NM |
3种SIC抛光液在以下几点条件相同:
①储存条件:室内储存,选择阴凉处,温度请控制在0-40℃;
②保质期限:储存条件下保质期为6个月;
③注意事项:请在遮光条件下储存,否则会对产品保质期有所影响;
④包装规格:5Kg/桶,4桶/箱;20Kg/桶,800Kg/托。
欢迎对抛光液产品有需求的业务伙伴关注联系我们,我司将会为您提供进一步的服务。